■ 概要
公司利用氣體處理的技術，多年來，以Epi裝置、MOCVD原料供給裝置為起點，承接各種氣體面板/閥門分配箱的設計和製作。利用迄今為止的經驗，可提供符合客戶需求（價格、規格）的訂製氣體面板/閥門分配箱。
除正常供氣外，也提供液化氣的氣泡送氣。
其次，按各種法規協助呈報申請。
■ 特徵
- 符合需求的系統設計；
- 包括控制系統的獨立控制系統；
- 各種法規的遵守、各種申請辦理；
- 從小型到大型的製作可行性。
VMB/VMP
是指氣體所需生產裝置和腔中為分支氣體的設備。
VMB…valve manifold box VMP…valve manifold panel
■ 設備引進優勢
即使增減供給設備，可在VMB的二次配中進行管道的增設施工和拆除作業，不影響其他供給設備。
可實現從一台供給裝置將氣體分支到多台生產裝置和腔內進行供氣，從而減少供給裝置台數。
某一台供給設備發生氣體洩漏時，可切斷氣體洩漏所對應的VMB端口。供氣源的氣櫃在無需切斷下，可對其他裝置持續地供給，使氣體洩漏限於最小範圍內。
■主要功能
- N2吹掃
- 端口切斷
- 壓力調整
- VG排氣
- 壓力監控
- 增設端口
■ 各類型構成方法
標準型
生產設備氣體箱型
備用機組型
多用途氣體型
