氣櫃/BSGS

東橫化學的氣櫃是以安全穩定地供應工程技術產業所需的特殊材料气體為目的開發的設備。 為應顧客需求配備了個機型的設備,迄今為止銷售的氣櫃系列累計已達3000台以上。 其次,可按研究材料,包括使用氣體的性質和消費量及供氣製造商的供給體制,商討和提供合適的供給型態之建議。

■氣櫃
主要存儲47L以下鋼瓶的氣體供給裝置。按供氣量,從10L小鋼瓶到同時供氣的多個鋼瓶。以小~中流量的氣體供給為研究的研究機構到生產工廠,眾多用戶有此需求。

■BSGS
Bulk Specialty Gas System的簡稱,即為大流量供氣裝置。儲存47L以上的大流量鋼瓶,在液晶和太陽電池的量產工廠中,是向大流量供氣所需用戶提供的供氣裝置。

气柜CC2000S,SEMI规格,BSGS(大流量供气装置)

氣櫃概要

■ CC2000S氣櫃的基本4原則

維持高純度氣體的品質
對於代表半導體製造工廠的,具有高純度品質的需求,從部品到管道,將貫徹嚴格的選材宗旨,實現高質量的氣體供給。

安全性的設計理念
對具有毒性和爆炸性等危險性極強的氣體,以安全供氣為目標,根據各氣體的物理性質進行設計。

供氣穩定性的設計理念
提供24小時365天連續供氣體制需求。對可發生的各種故障,根據豐富的經驗進行穩定供給的設計。

減低環境負荷
不僅是日本,在海外也實行重視的節能和低環境負荷對策。

■ 銷售領域
矽晶半導體 Silicon Semiconductor
液晶顯示屏 Liquid Crystal Display
矽晶片 Silicon Wafer
等離子顯示屏 Plasma Display
太陽能電池 Solar Battery
化合物半導體 Compound Semiconductor
有機EL顯示屏 Organic Electroluminescence Display
化學 Chemistry
電子產品 Parts of Electronics
能源 Energy
鋼鐵 Steel
汽車 Automobile
醫療 Medical
研究所 Laboratory
■ 標準法規
SEMI規格的對應

SEMI規格的對應
主要根據海外顧客的需求,具有按世界標準的SEMI規格提供供氣裝置的業績。

■氣體供給業績一覽表
No. 化學式 氣體名稱 No. 化學式 氣體名稱
1 Ar 28 H2
2 AsH3 砷化氫 29 H2S 硫化氫
3 B2H6 乙硼烷 30 H2Se 硒化氫
4 BCL3 三氯化硼 31 HBr 溴化氫
5 C2F6 六氟乙烷 32 HCL 氯化氫
6 C2HF5 五氟乙烷 33 He
7 C3F6 六氟丙烯 34 HF 氟化氫
8 C3F8 全氟丙烷 35 HI 碘化氫
9 C3H8 丙烷 36 Kr
10 C4F6 全氟丁二烯 37 N2
11 C4F8 八氟環丁烷 38 N2O 笑氣
12 C5F8 八氟環戊烯 39 Ne
13 CCL4 四氯化碳 40 NF3 三氟化氮
14 CF4 四氟甲烷 41 NH3
15 CH2F2 二氟甲烷 42 NO 一氧化氮
16 CH3F 氟甲烷 43 O2
17 CH3OH 甲醇 44 PH3 磷化氫
18 CH4 甲烷 45 SF6 六氟化硫
19 CHF3 三氟甲烷 46 Si2H6 二硅烷
20 CL2 氯氣 47 SiCL4 四氯化硅
21 CLF3 氟化氯 48 SiF4 四氟化硫
22 CO 一氧化碳 49 SiH(CH3)3 三甲基硅烷
23 CO2 二氧化碳 50 SiH2CL2 四氯硅烷
24 F2 氟氣 51 SiH4 甲硅烷
25 F2+Ar+Ne 氟氬氖 52 SiHCL3 四氯氫烷
26 F2+Kr+Ne 氟氪氖 53 WF6 六氟化鎢
27 GeH4 甲鍺烷 54 Xe

氣櫃規格

■ 氣櫃的基本構造
氣櫃的基本構造
■ 安全操作一覽
No. 災害‧事故原因 供給裝置 No. 災害‧事故原因 供給裝置
1 地震 抗震實驗結果 30 液化 溫控系統
2 抗震金屬配件 31 稀釋空氣(防止結露)
3 容器夾具 32 噴霧分離器
4 抗震器 33 閉塞 通風系統壓力監控
5 火災 火災偵測器(UV-IR) 34 安全閥
6 容器散水閥 35 切斷氣體 壓力表
7 煙感溫感傳感器 36 重量稱
8 支可燃筐體分離 37 自動切換
9 溫調自控 38 腐蝕 充填管腐蝕(N2吹掃)
10 防止逆流、壓力開關 39 O型環選定
11 N2架台分離 40 鈍化
12 管道電氣機殼分離 41 吹掃
13 容器隔板 42 停電、瞬時停電、霹靂 不間斷電源(UPS)
14 漏洩洩漏 氣體檢知器 43 齊納屏障
15 微差壓計的安裝 44 故障 閥門壽命
16 機殼、機殼排氣 45 PLC冗餘系統
17 自動氣密、循環吹掃 46 竊盜 監控顯示屏
18 通風管除害 47 鍵鑰匙鎖
19 通風管稀釋 48 認為錯誤 觸碰屏對話式
20 DEEP吹掃/CROSS吹掃 49 氣體銘牌表示
21 空氣管面罩 50 閉門器
22 鋼瓶更換時風險 51 閥門開關表示
23 超額流量開關(EFS) 52 綜合 日常點檢
24 壓力表 53 故障安全機構
25 容器元閥遮斷 54 報警燈、蜂鳴器
26 防爆 安全窗 55 連鎖
27 Z吹掃 56 SEMI規格
28 接地  
29 爆炸散熱板  
■ 操作畫面(Main Menu)
操作畫面(Main Menu)
■ 氣櫃外觀圖
氣櫃外觀圖
■ BSGS外觀圖
BSGS外觀圖
■ SEMI-S2規格氣櫃的構造
SEMI-S2規格氣櫃的構造
閉門器 ・門全開位置上可固定。
・操作窗也是自動閉鎖。
手柄 ・大門、操作窗都是彈簧鎖式。
・大門、操作窗都可鎖定。
EMO ・安裝位置離地板1,000mm
・使用開關保護盒。
PL密封 ・張貼氣體特性的PL封印。
張貼場所為左操作窗、控制BOX
配管系筐體板金 ・機殼、門板厚度都為2.3mm。
控制系筐體板金 ・機殼、門板厚度都為2.3mm。
墊片 ・管道機殼和大門、大門和操作盤的每面應黏貼墊片。
■ 滿足顧客要求的訂製

公司標準全自動氣櫃CC2000S以外,還可洽談、建議和製作滿足客戶各種需求的供氣系統。
半自動氣櫃具有價格優勢,全手動式氣櫃也具有銷售業績。
供給裝置洽談之際,我們將考慮客戶價格與規格的平衡,建議和製作對客戶的最為適合機種。
敬請洽談。