工程技術

氣櫃

氣櫃

東橫化學的氣櫃是以安全穩定地供應工程技術產業所需的特殊材料氣體為目的開發的設備。
為應顧客需求配備了各機型的設備,迄今為止銷售的氣櫃系列累計已達3000台以上。
其次,可按研究材料,包括使用氣體的性質和消費量及供氣製造商的供給體制,商討和提供合適的供給型態之建議。

閥門分配箱/氣體面板(VMB/VMP)

閥門分配箱/氣體面板(VMB/VMP)

公司利用氣體處理的技術優勢,歷年承接以Epi裝置和MOCVD用原料供給裝置為開端的各種閥門分配箱和氣體面板的設計製作業務。
充分利用過去取得的經驗,可量身訂做符合客戶需求(價格和規格)的閥門分配箱和氣體面板。 包括日常氣體供給外,還承接液化氣的擴散送氣業務。
其次,可協助辦理各法律法規的申報申請。

氦氣(He)回收裝置

氦氣(He)回收裝置

是指回收、調整濃度和再利用的各種部品漏檢所用的氦氣混和氣體裝置。本裝置為符合客戶需求而設計製作的訂製品。

廢氣處理裝置/純化裝置

廢氣處理裝置/純化裝置

廢氣處理裝置
廢氣處理方法具有燃燒式、加熱分解式、濕式、催化式等離子分解式、吸附式等方法。
公司利用多年的氣體、半導體業界將選定符合客戶條件的廢氣處理設備,並提供包括環境的問題解決方案。

純化裝置
是指工程技術工程中所需的高純度氣體純化裝置。
從各純化裝置的製造商、各純化方式中提供最適合顧客需求的方案。充分利用多年對氣體處理的經驗, 向客戶提供純化裝置的成熟技術。

氣體偵測器/氣體監控計系統(GMS)

氣體偵測器/氣體監控計系統(GMS)

氣體偵測器
是指監控可燃性、毒性氣體洩漏的機器。商討洩漏時的安全對策等,也包括從氣體製造商的立場出發的設置工事及I/L提案。

氣體監控系統(GMS)
為監控和管理氣體安全穩定地供給而構建的氣體監控系統。氣體綜合監控系統外,另備有氣體供給裝置監控、氣體洩漏監控、派遣氣體監控、氣體中心監控、工具監控等、也備有個別監控系統。

氣體管道工事

氣體管道工事

使用特殊材料氣體的裝置,與裝置連接的附帶工事作業(管道工事等)為一套承包,其可縮短裝置啟動前的工期,消减管理成本。
除記載的作業外,還具有水管工事、大眾氣體管道工事、動力架台、純化箱的作業經驗。

系統控制軟件

系統控制軟件

系統控制軟件ToPS9在通用PCWindows上進行動作,是半導體製造裝置初次進行程序控制的系統控制。
其具備程序控制所需的方法製作功能、執行功能、監控功能和履歷功能。

復合(壓力、溫度、濕度)循環測試機

復合(壓力、溫度、濕度)循環測試機

是指汽車的是指汽车的傳感器元件(醫療器材、分析儀器、產業機器應用)的、復合(壓力、濕度、高溫、低溫、振動)循環測試機器。
也可作為傳感器性能確認被使用。恆溫槽、振動測試器(貴司設置物品)組合的同時,可實施復合測試。

鈦製容器

鈦製容器

為儲存利用鈦的耐腐蝕性特性的臭氧器体,其他腐蝕性氣體、化學品等的全鈦製容器。
根據鈦表面形成的堅固氧化膜,最適合對各種腐蝕性物質(酸性、鹼性、氯系物質等)的儲存。