■ 裝置概要
對用於各部品漏檢的氦氣（He）混和氣體進行回收、濃度調整和再利用（回收）的裝置。
■ 設備引進優勢
隨著全球性氦氣（He）供給的緊俏性，設備對氦氣（He）進行回收和再利用，可減低供給風險及氣體價格飆升風險。
■ 特徵
高精度濃度管理的可行性
可對回收後的氦氣（He）混和氣體按規定的氦氣（He）濃度進行調整，並可穩定供給。可對應各種氦氣（He）濃度，敬請洽談。
不受排氣條件限制的系統
具有連續性廢氣排放和斷續性廢氣排放兼備供給系統，可符合客戶的生產系統建構回收系統。
各類排氣成分的處理
可去除油分、水分、金屬成分和生成氣體等雜質，提高其純度。通過分析排氣，設計最佳系統。
高壽命
通過選定對氦氣（He）的壓縮和純化的最適合機器，建立有效控制消耗費用的系統。
現場供給
可提供公司管理回收裝置，對濃度調整後的氣體進行供給的商務模式。
回收率90%以上
盡量減少系統內廢氣排放的設計，使其具有高收率。可附帶工作內的氦氣（He）混和氣體的抽真空功能。
